
8月15日,国内光伏装备领军企业迈为股份正式发布新一代半导体核心装备技术突破性进展,其研发的高性能ALD原子层沉积设备通过中芯国际PVD工艺验证,实现技术指标全面超越国际同类产品。这一突破标志着中国半导体设备企业在高端装备制造领域迈出了关键性步伐,为破解"卡脖子"难题提供了全新解决方案。
近年来,全球半导体产业格局加速重构。国际数据公司(IDC)最新报告显示,2023上半年中国半导体设备市场规模突破300亿美元,但关键设备国产化率仍不足20%。在此背景下,迈为技术凭借在光伏HJT电池生产设备领域的深厚积累,通过技术迁移创新,成功将原子层沉积技术精度提升至纳米级水平。
据迈为官网透露,此次发布的ALD设备采用创新性多腔体协同控制技术,实现薄膜沉积厚度偏差控制在0.3nm以内,较传统设备提升40%。其独创的"智能自适应工艺模块"可实时调节反应参数,确保在300mm晶圆上实现均匀性≤1.5%,突破国际厂商的技术封锁。该设备已在合肥长鑫12英寸DRAM产线通过28nm工艺验证,良率稳定达到98.7%。
技术创新背后是持续的研发投入深化。公开资料显示,迈为技术近三年研发投入复合增长率达47%,2023年研发团队扩充至800余人,其中半导体领域研发人员占比提升至35%。其建立的"光伏+半导体"双轮驱动研发体系,有效实现了技术能力的跨领域复用,例如将光伏PERC电池的激光工艺经验转化为半导体芯片封装中的精密切割技术。
市场应用端传来积极信号。8月上旬的中国国际半导体展上,迈为技术与华虹宏力、士兰微等企业签署战略合作协议,将共同推进28nm节点设备国产化。分析认为,随着该装备在主流产线的规模应用,预计可使国内半导体制造企业在核心设备采购成本降低30%-40%,芯片生产周期缩短15%。
政策层面持续释放利好。在发改委最新发布的《半导体设备国产化三年行动方案》中,迈为技术入选"优势领域突破清单",其承担的"高精度半导体ALD设备研发"项目获得专项支持。据行业专家测算,仅ALD设备国产化就将带动每年超50亿元的设备市场空间。
行业人士指出,迈为技术此次突破具有双重战略价值:
1. 技术维度:实现从光伏装备到半导体装备的垂直突破,建立"原创技术-工艺验证-量产应用"全链条创新体系
2. 产业维度:推动国内半导体设备供应商从"零部件配套"向"整机系统集成"跨越,预计2025年可形成自主可控的半导体装备供给体系
值得关注的是,此次技术突破与国际形势变化形成呼应。国际半导体产业协会(SEMI)最新预警显示,美国对华先进制程设备出口限制强度持续升级,国产替代紧迫性进一步凸显。迈为技术的创新实践为行业提供了可复制的技术路径,其董事长周剑峰在技术交流会上表示:"公司将持续加大研发投入,未来三年计划在半导体装备领域投入超20亿元,重点攻克难度最大的前道光刻、刻蚀等核心设备"。
据供应链消息,迈为技术新一代28nm制程兼容的光刻设备已进入工程样机阶段,整合了其在激光精密加工领域的独有技术,预计2024年下半年可实现量产交付。分析机构TrendForce认为,若进展顺利,这将直接打破海外厂商在光学邻近修正(OPC)技术上的垄断,为中国半导体制造商赢得战略主动权。
在资本市场上,迈为技术的创新举措引发广泛关注。其在半导体设备领域的专利布局已覆盖薄膜沉积、刻蚀、清洗等核心环节,截至2023年6月底累计申请半导体相关专利143项,其中发明专利占比达67%。这些技术沉淀正在形成竞争壁垒,据第三方评估,其专利技术组合价值已飙升至行业前五。
展望未来,随着国产替代进程提速,迈为技术正从光伏设备赛道的领跑者转型为半导体装备领域的重要参与者。正如《半导体产业观察》最新专题报道所言:"这家企业证明,中国制造业的转型升级不是口号,而是可以通过技术创新、产业协同一步步实现的现实图景。"
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